吉時利半導體參數(shù)分析儀主要性能指標：

I-V 源測量單元(SMU)

± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

100 fA測量分辨率

選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

100 μF負載電容

吉時利半導體參數(shù)分析儀四象限操作：

2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)

選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道

200 MSa/s，5 ns 采樣率

±40 V (80 V p-p)，±800 mA

瞬態(tài)波形捕獲模式

任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

兩個高速脈沖電壓源通道

±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)

在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針

把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)

在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換

把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安

降低電纜電容效應為材料、半導體器件和工藝開發(fā)提供優(yōu)秀的參數(shù)分析儀

使用強大的Clarius 軟件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脈沖I-V 測試，結(jié)果清晰明了