高速掃描電子顯微鏡 

HEM6000

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應用場景的自動化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

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產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化 

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍

大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

低壓高分辨 

樣品臺減速技術，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

應用領域

應用案例

大規(guī)模成像

規(guī)格書 

關鍵參數(shù) 

分辨率        1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 

                  1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；

加速電壓    100 V~6 kV(減速模式) 6 kV~30 kV(非減速模式) 

放大倍率     66~1,000,000x 

電子槍類型  高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 

物鏡類型     浸沒式電磁復合物鏡 

樣品裝載系統(tǒng) 

真空系統(tǒng)    全自動控制，無油真空系統(tǒng) 

樣品監(jiān)控    樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭

樣品最大尺寸     直徑4英寸 

樣品臺 

類型          電機驅動3軸樣品臺（*可選配壓電驅動樣品臺） 

行程          X、Y軸：110mm；Z軸：28mm；

重復定位精度     X軸：±0.6 um；Y軸：±0.3 um 

換樣方式   全自動控制 

換樣時間   ＜15 min 

換樣倉清洗        全自動控制等離子清洗系統(tǒng) 

圖像采集與處理 

駐點時間    10 ns/pixel 

圖像采集速度     2*100 M pixel/s 

圖像大小    8K*8K 

探測器和擴展 

標配 

鏡筒內混合電子探測器 

選配

低角度背散射電子探測器 

鏡筒內高角度背散射電子探測器 

壓電驅動樣品臺 

高分辨大場模式

樣品倉等離子清洗系統(tǒng) 

6英寸樣品裝載系統(tǒng)

主動減震臺 

AI降噪；大圖拼接；三維重構 

軟件 

語言  中文 

操作系統(tǒng) Windows 

導航 光學導航、手勢快捷導航 

自動功能 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

服務

掃描電子顯微鏡實驗室 

我們在合肥、無錫、廣州和上海設有掃描電子顯微鏡實驗室，實驗室配備多名電鏡技術專家和高級電鏡應用工程師，提供包含電 鏡應用技術開發(fā)、樣品拍攝在內的多種服務。主要應用領域有鋰電池、新型納米材料、半導體材料、礦物冶金、地質勘探、生物醫(yī)藥等。 實驗室依托國儀量子電鏡產(chǎn)品，在電鏡應用領域開展具有自主知識產(chǎn)權的科研項目，致力于實現(xiàn)科學研究和人才培養(yǎng)的目標。與此同時，實驗室也為有電鏡應用需求的科研院所、大專院校、企事業(yè)單位提供優(yōu)質的服務。